Spirali:
utilizzate quando i sistemi lineari non soddisfano le seguenti condizioni:
– Spazio di lay-out ridotto,
– Tempi di processo lunghi,
– Superfici da trattare estese.
Spirali:
utilizzate quando i sistemi lineari non soddisfano le seguenti condizioni:
– Spazio di lay-out ridotto,
– Tempi di processo lunghi,
– Superfici da trattare estese.